一、袖珍型超高真空插板閥

此真空閥門有手動、氣動驅(qū)動兩種方式，，在結(jié)構(gòu)設(shè)計上合理，在外形上美觀，并具有動作平穩(wěn)、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點，能廣泛應(yīng)用于超高真空設(shè)備中。閥門以壓縮空氣推動氣缸為動力，通過傳動桿推（拉）動連桿機構(gòu)，帶著驅(qū)動體沿軸向運動，驅(qū)動體通過擺桿與閥板連接，完成閥板開啟及關(guān)閉動作。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。

二、袖珍型超高真空插板閥特點

軸封為波紋管密封，無潤滑劑設(shè)計；

閥體材料為不銹鋼，整體剛性好，體積小，外形美觀；

采用雙導(dǎo)軌軸承滾輪機構(gòu)，運動平穩(wěn)；閥板內(nèi)整體式結(jié)構(gòu)，支撐力均勻。

三、袖珍型超高真空插板閥參數(shù)

適用范圍：

1×10-5Pa～1.2×105Pa（全部氟膠圈密封）

1×10-6Pa～1.2×105Pa（波紋管密封）

打開時插板上的壓差：≤3×103Pa任意方向

閥體和閥座漏率：1.3×10-7Pa·L·s-1

首次保養(yǎng)循環(huán)次數(shù)：10，000次

閥體烘烤溫度：打開時≤200℃；關(guān)閉時≤150℃

安裝位置：任意

電源：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（除了上述規(guī)格外，特殊規(guī)格可定做）

閥門開啟或關(guān)閉時間：≤3s

氣動壓縮空氣：0.4～0.7MPa

閥門位置指示

手動驅(qū)動：帶有啟閉位置指示（機械式）

氣動驅(qū)動：帶有啟閉位置指示開關(guān)（磁性開關(guān)）