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真空泵 Products

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阿特拉斯ATLAS推動式旋片真空機(jī)組-新能源真空吸附工藝

發(fā)布時間: 2024 - 10 - 17

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過濾干燥攪拌工藝-SPECK水環(huán)真空機(jī)組

發(fā)布時間: 2024 - 09 - 19

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晶圓吸附切割司倍克水環(huán)真空機(jī)組

發(fā)布時間: 2024 - 09 - 05

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阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌CNC精雕機(jī)配套螺桿真空機(jī)組

發(fā)布時間: 2024 - 08 - 25

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行業(yè)資訊了解行業(yè)的最新資訊

2020 - 04 - 09

中小型無油真空泵與大中型真空泵最顯著的差別就是說在身型上的差別，中小型無油真空泵比較好運(yùn)送，解決了難運(yùn)送的難題，那么中小型無油泵到底是如何的?非常容易出現(xiàn)什么常見故障?下邊就來了解一下?！　⌒⌒驼婵毡弥傅木褪钦f微型真空泵，由于體型小一般把微型真空泵稱為小型真空泵。微型真空泵(即小型真空泵)就是指：具有一進(jìn)一出的抽真空嘴、排氣管嘴各一個，而且在進(jìn)口處可以不斷產(chǎn)生真空泵或空氣壓力;排氣管嘴處產(chǎn)生微正壓力;工作中物質(zhì)關(guān)鍵為汽體，容積精巧的一種儀器設(shè)備?！　⌒⌒驼婵毡脵C(jī)械故障及解決方案：　　1.罩殼裂痕裂開　　真空泵因鍛造、生產(chǎn)加工缺點(diǎn)，熱應(yīng)力及過載運(yùn)作等緣故常常造成構(gòu)件出現(xiàn)裂痕或破裂狀況?；镜男扪a(bǔ)方式是選用電焊焊接，或是是選用“冷焊”技術(shù)性，能夠防止焊接應(yīng)力形變，另外塬材料優(yōu)良的粘合力和抗壓強(qiáng)度、耐腐蝕等綜合型能，能夠最大限度地考慮各種各樣機(jī)器設(shè)備構(gòu)件的應(yīng)用規(guī)定，進(jìn)而在最少成本費(fèi)的資金投入下合理確保生產(chǎn)制造，安全性、便捷、靠譜。　　2.泵軸滾動軸承位損壞　　真空泵傳動系統(tǒng)部位損壞是廣泛存在的不足，在其中包含滾動軸承位、帶座軸承、滾動軸承室、健槽及外螺紋等部位，傳統(tǒng)式方式以焊補(bǔ)和電刷鍍噴漆主導(dǎo)，運(yùn)用纖維材料修補(bǔ)，能免拆裝，免機(jī)械加工。既無焊補(bǔ)焊接應(yīng)力危害，修補(bǔ)薄厚都不受到限制，另外商品所具備的金屬復(fù)合材料不具有的忍讓性，可消化吸收機(jī)器設(shè)備的沖擊性振動，防止再度損壞的將會，并大大的增加...

開料機(jī)水環(huán)真空泵的使用注意事項(xiàng)

2019 - 10 - 29

現(xiàn)在很多廠家生產(chǎn)的開料機(jī)將根據(jù)客戶要求配備一個真空泵，為方便客戶固定板，但使用注意事項(xiàng)真空泵，但沒有明確告知消費(fèi)者，導(dǎo)致很多客戶在真空的時間泵故障不能確定是哪里出了問題，今天我們對水環(huán)真空泵的常見問題做一下簡單的解釋?！　∷h(huán)真空泵主要組成部件有以下幾種：　　1、吸氣口：連接木工雕刻機(jī)吸附管道?！　?、除塵罩：防止木屑等雜物進(jìn)入泵內(nèi)?！　?、止回閥：停機(jī)時，防止泵內(nèi)的水回流到設(shè)備內(nèi)?！　?、進(jìn)水管：向泵內(nèi)注入工作液，設(shè)備產(chǎn)生真空?！　?、進(jìn)水閥門：控制工作液的流量，開機(jī)之前必須完全打開閥門，并確保水已經(jīng)進(jìn)入泵內(nèi)，才能啟動真空泵?！　?、排水口：在設(shè)備使用10天左右，排空水箱內(nèi)的工作液，更換干凈的軟化水?！　?、排氣口：在吸附過程中產(chǎn)生的氣體，通過排氣口排入大氣，排氣口不可堵塞，不可接超過兩米的管路，不可接直徑低于5CM的管路，否則極易超負(fù)荷，損壞電動機(jī)?！　?、上水位口：向水箱內(nèi)加水，直到上水位口向外淌水為止，并在每天啟動真空泵前定時加水，保證水箱內(nèi)有充足的工作液?！　?、水箱：盛放工作液。　　那么在水環(huán)使用之前我們應(yīng)該注意哪些問題?　　特別提醒：每次開啟真空泵的時候，必須確保真空泵里面有工作液!且工作液位需達(dá)到電機(jī)輪軸以上!　　一：吸氣口與雕刻機(jī)吸附管道連接，嚴(yán)格進(jìn)行密封，防止泄露?！　《撼醮螁樱寐萁z刀撥動電動機(jī)風(fēng)扇，確保葉輪無卡滯現(xiàn)象?！　∪哼B接電動機(jī)電源，并調(diào)整運(yùn)轉(zhuǎn)方...

真空泵系統(tǒng)中選擇真空泵的要點(diǎn)，要記住啦！

2019 - 11 - 05

真空泵的作用是從除了氣體分子的真空室抽真空，以減少在所述真空室中的氣體壓力，以便達(dá)到所需的真空度。廣義地從大氣中高真空具有大的范圍內(nèi)，到目前為止還沒有一個真空系統(tǒng)可以覆蓋該范圍。因此，為了實(shí)現(xiàn)不同的產(chǎn)品的過程指標(biāo)，和工作的設(shè)備的工作壽命要求效率，不同的真空部分需要選擇真空系統(tǒng)的不同的配置。為了獲得最佳的結(jié)構(gòu)中，真空泵系統(tǒng)被選擇，有以下幾點(diǎn)應(yīng)予以考慮。　　1，確定在真空中工作范圍　　它首先檢查以確定真空的每個過程的要求的程度。由于每個進(jìn)程具有其自身的真空范圍的適應(yīng)，必須仔細(xì)研究，以確定?！　?，確定最終的真空　　在真空排氣系統(tǒng)由過程所需要的真空度的檢查的基礎(chǔ)上確定的限制的真空度，因?yàn)樵撓到y(tǒng)確定真空系統(tǒng)的工作最好的真空度最終?！　∫话愕?，該系統(tǒng)的極限真空比操作系統(tǒng)，真空度低20%，比真空前級泵的極限程度低50%。　　3，選擇主真空泵計(jì)算　　S = 2.303v / TLOG(P1 / P2).　　其中：S是真空抽速，v是真空室的容積，t為達(dá)到所要求的真空度所需的時間，p1為初始壓力，P2是真空的所需程度?！　?，真空容積　　檢查時間以達(dá)到所需的真空水平時，泄漏的真空線的流動阻力?！　】紤]的需求，以達(dá)到真空排氣速度所需的真空度后，根據(jù)工藝要求一定的條件下維持?！　?，排氣的類型和量泵送　　檢查的排氣用吸入工藝要求的類型和數(shù)量。因?yàn)榉磻?yīng)發(fā)生，如果液體泵的氣體種類和真空泵系統(tǒng)將被污染。同時，...

關(guān)于水環(huán)真空泵過壓縮現(xiàn)象與壓縮不足現(xiàn)象

2019 - 11 - 07

水環(huán)真空泵是液體環(huán)真空泵是最常見的一種。液環(huán)真空泵是安裝在泵殼體中的多葉片轉(zhuǎn)子具有偏心。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時，液體拋出和泵殼體與所述泵殼的液體環(huán)同心，形成體積排量泵和所述轉(zhuǎn)子葉片的液體環(huán)旋轉(zhuǎn)周期變化。當(dāng)工作流體是水，所述水環(huán)泵。　　水環(huán)真空泵的工作原理葉輪與泵體呈偏心配置，當(dāng)葉輪旋轉(zhuǎn)時，水在離心力的作用下沿泵體內(nèi)壁形成近乎等厚的旋轉(zhuǎn)水環(huán)，水環(huán)內(nèi)表面與葉輪輪轂外表面構(gòu)成月牙形的工作腔，并被葉輪葉片分割成大小不等的空腔。前半轉(zhuǎn)空腔的容積逐漸擴(kuò)大，氣體從外界吸入;后半轉(zhuǎn)空腔的容積逐漸縮小，氣體被壓縮后排出外界。從而完成吸氣、壓縮、排氣三個工作階段?！　∵^壓縮現(xiàn)象與壓縮不足現(xiàn)象　　1、過壓縮現(xiàn)象：封閉小腔沒有到達(dá)排氣口，其內(nèi)氣體已經(jīng)達(dá)到排氣壓力(一般常發(fā)生在大泵中，且吸氣壓力較高時容易發(fā)生);　　2、壓縮不足現(xiàn)象：封閉小腔與排氣口接通，但其內(nèi)氣體尚未達(dá)到排氣壓力(常發(fā)生在吸氣壓力較低時)?！　∫陨犀F(xiàn)象均與吸入氣體壓力變化，而泵的兩口位置(壓縮比)固定不變有關(guān)?！　〗鉀Q問題的辦法　　1、在排氣口前設(shè)置橡皮球閥：當(dāng)小腔內(nèi)氣體過早達(dá)到排氣壓力時，球閥打開?！　?、采用柔性排氣閥設(shè)計(jì)(專利)，避免過壓縮現(xiàn)象。柔性排氣閥通過自動調(diào)節(jié)排氣面積而降低泵的能量消耗。從而達(dá)到運(yùn)行效率?！　?、設(shè)計(jì)時，以吸入壓力(極限壓力)來確定泵的壓縮比(排氣口位置)　　壓縮比 ...

真空系統(tǒng)中被抽的有什么氣體

2019 - 11 - 08

在真空系統(tǒng)的應(yīng)用中，提取的氣體不僅包括應(yīng)用過程中產(chǎn)生的各種氣體，而且還包括系統(tǒng)中的原始大氣。整體內(nèi)容是什么?今天，小編會給你理一理。　　1.真空系統(tǒng)過程中產(chǎn)生氣體　　它包括過程中從材料中逸出的氣體以及過程中引入的氣體，并且還包括真空系統(tǒng)中的液態(tài)或固態(tài)氣化氣體。對于不同的過程和要處理的不同材料，此氣體量的計(jì)算是不同的?！　?.真空系統(tǒng)中最初存在氣體　　在真空系統(tǒng)中，真空容器腔室，真空管道等最初包含一定量的大氣氣體成分。在泵送的初始階段，它們是真空系統(tǒng)的主要?dú)怏w負(fù)載，最早也被系統(tǒng)帶走?！　?.真空系統(tǒng)中泄漏氣體　　泄漏氣體包括通過真空密封連接和各種泄漏路徑泄漏到真空系統(tǒng)中的氣體。對于給定的真空系統(tǒng)，泄漏的氣體量是恒定的。不同的真空系統(tǒng)應(yīng)用，不同的極限壓力以及對氣體泄漏量的嚴(yán)格限制。　　4.真空系統(tǒng)中各種材料表面上釋放的氣體的解吸　　在常壓下，真空系統(tǒng)中材料的表面會吸附并溶解一些氣體。在負(fù)壓下，這部分氣體將再次釋放。它的滲出流與材料特性，加工和材料的表面狀態(tài)有關(guān)?！　?.真空系統(tǒng)外部的氣氛通過壁材料滲透系統(tǒng)中的氣體　　氣體也溶解并滲透到固體中。因此，大氣通過容器壁結(jié)構(gòu)的材料將一部分氣體滲透到真空系統(tǒng)中。在普通的金屬系統(tǒng)中，這種滲透可以忽略不計(jì)，但是在玻璃真空系統(tǒng)或薄壁金屬系統(tǒng)中的某些應(yīng)用將需要考慮滲透氣體的影響?！　∫陨衔鍌€方面構(gòu)成了真空系統(tǒng)的總泵送負(fù)荷。

爪型真空泵的結(jié)構(gòu)分析

2019 - 11 - 12

爪型真空泵，是一種轉(zhuǎn)子為爪型的真空泵，泵的腔體內(nèi)不使用任何油類和液體，所以稱為真空泵。在結(jié)構(gòu)上多采用多級爪式轉(zhuǎn)子串聯(lián)組合而成的，通過聯(lián)軸器直接與電機(jī)相連。真空泵可分為容積式和動量傳輸式兩種，爪型真空泵按工作原理劃分屬于變?nèi)莘e式真空泵。　　爪型真空泵由于具有腔體內(nèi)干燥、對被抽容器沒有污染、能直連大氣、單泵抽吸力大等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛地應(yīng)用于航天、化工、制藥等行業(yè)。但爪型真空泵的動平衡分析及密封特性一直是研究的熱點(diǎn)問題?！　∽π驼婵毡玫慕Y(jié)構(gòu)　　爪型真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，各級轉(zhuǎn)子串聯(lián)、直徑和形狀相同，各級轉(zhuǎn)子間相位為固定，由中間壁來隔離，形成各級的泵腔，兩個轉(zhuǎn)子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積，吸氣口和排氣口是固定在上下端蓋的側(cè)面上，由轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)過程中自動開關(guān)。轉(zhuǎn)子無任何摩擦地懸浮于泵腔內(nèi)做同步反方向運(yùn)動?！　‘?dāng)電動機(jī)1開始工作時，電機(jī)主軸直接連到主動軸4上，主動軸4通過成對齒輪3的嚙合實(shí)現(xiàn)與從動軸5的連續(xù)轉(zhuǎn)動，4級泵腔依次串聯(lián)，每級泵腔內(nèi)各有一對做同步異向雙回轉(zhuǎn)運(yùn)動規(guī)律的爪型轉(zhuǎn)子8共軛嚙合，實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮、排氣、混合的連續(xù)過程。氣體首先通過進(jìn)氣口，進(jìn)入通道，在一級轉(zhuǎn)子的作用下，一級泵腔內(nèi)的氣體進(jìn)入2級泵腔，而后進(jìn)入3級、4級泵腔，最后氣體經(jīng)過排氣道進(jìn)入冷凝區(qū)，氣體液化后流向排液口，經(jīng)收集處理可循環(huán)利用，同時殘存氣體通過消聲器排入大氣?！　《嗉壸π驼婵毡每梢云鸬匠檎婵找约皻庖悍蛛x的作用。為了防止軸承和齒...

真空系統(tǒng)用于建筑排水可以嗎

2019 - 11 - 14

近年來，中國城市生活用水量逐年增加，因此建設(shè)建筑物用水至關(guān)重要。因此，有必要選擇一個良好的真空系統(tǒng)，建筑物排水中的應(yīng)用值得關(guān)注?！　≌婵障到y(tǒng)在建筑排水中中的應(yīng)用，屬于排水及污水處理環(huán)保設(shè)備領(lǐng)域。用于建筑物排水系統(tǒng)的當(dāng)前控制系統(tǒng)中真空泵站系統(tǒng)和廁所控制系統(tǒng)不是兩個獨(dú)立的系統(tǒng)。這兩個系統(tǒng)共享一個真空檢測開關(guān)。該系統(tǒng)由相同的真空檢測開關(guān)操作和停止。恒定值控制，一旦真空檢測開關(guān)發(fā)生故障，兩個系統(tǒng)都將被停用?！　≌婵毡谜鞠到y(tǒng)中真空泵和污水泵非常有用。備用泵僅在當(dāng)前泵出現(xiàn)故障時才激活。頻繁的啟動往往會縮短有源泵的壽命。浴室控制系統(tǒng)中控制模塊(如馬桶座圈)的參數(shù)設(shè)置值是固定的，無法修改，因此不能在系統(tǒng)中的每種情況下靈活使用?！　”疚牡哪康氖墙鉀Q現(xiàn)有建筑排水系統(tǒng)控制裝置中真空泵和排污泵使用不正確，馬桶座等控制模塊無法設(shè)置修改參數(shù)，無法顯示的問題用于確認(rèn)諸如馬桶座等控制模塊故障的問題。為了達(dá)到上述目的，技術(shù)人員使用了一種真空系統(tǒng)技術(shù)方案來構(gòu)造一種建筑物的真空排水裝置，該建筑物包括抽水馬桶控制系統(tǒng)，該抽水馬桶控制系統(tǒng)通過排污管與抽真空系統(tǒng)相連?！　≌婵障到y(tǒng)利用真空泵抽真空箱和管網(wǎng)中的空氣，使管網(wǎng)中長期保持0.035?0.045Mpa的相對真空，排污迅速。通過壓力差將其吸入真空管，然后進(jìn)入真空收集器(罐中;進(jìn)入收集器(罐)的污水可以排入附近的重力排水網(wǎng)絡(luò)或污水處理廠，或者可以輸送到生態(tài)衛(wèi)生中設(shè)備。　　啟...

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產(chǎn)品名稱： 阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌CNC精雕機(jī)配套螺桿真空機(jī)組

上市日期：2024-08-25

在眾多品牌中，阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌以其卓越的品質(zhì)和技術(shù)創(chuàng)新脫穎而出，其螺桿真空機(jī)組在CNC精雕機(jī)真空吸附系統(tǒng)中展現(xiàn)出了諸多優(yōu)勢。

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產(chǎn)品詳情

阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌螺桿真空機(jī)組在CNC行業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢

在眾多品牌中，阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌以其卓越的品質(zhì)和技術(shù)創(chuàng)新脫穎而出，其螺桿真空機(jī)組在CNC精雕機(jī)真空吸附系統(tǒng)中展現(xiàn)出了諸多優(yōu)勢：

1.高效穩(wěn)定：阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌螺桿真空機(jī)組采用先進(jìn)的螺桿轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，能夠在低轉(zhuǎn)速下產(chǎn)生較高的抽氣量，同時保持極低的噪音和振動水平。這種高效穩(wěn)定的性能，確保了精雕機(jī)在長時間連續(xù)加工過程中的真空穩(wěn)定性，有效提升了加工精度和效率。

2.節(jié)能環(huán)保：相比傳統(tǒng)真空泵，阿特拉斯螺桿真空機(jī)組具有更高的能效比，能在相同工作量下消耗更少的電能。此外，其優(yōu)化的油氣分離系統(tǒng)減少了油霧排放，符合現(xiàn)代制造業(yè)對環(huán)保的嚴(yán)格要求。

3.易于維護(hù)：阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌螺桿真空機(jī)組結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，零部件更換簡便，且具備智能故障診斷功能，能夠提前預(yù)警潛在問題，減少停機(jī)時間，降低維護(hù)成本。

4.適應(yīng)性強(qiáng)：針對CNC精雕機(jī)加工過程中可能遇到的不同材質(zhì)、不同形狀的工件，阿特拉斯螺桿真空機(jī)組提供了靈活的配置選項(xiàng)，如可調(diào)節(jié)的真空度、快速響應(yīng)的啟停系統(tǒng)等，以滿足多樣化的加工需求。

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品名稱：
阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌CNC精雕機(jī)配套螺桿真空機(jī)組

上市日期： 2024-08-25

CNC精雕機(jī)真空機(jī)組,螺桿真空泵參數(shù)

產(chǎn)品細(xì)節(jié)

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CNC精雕機(jī)配套螺桿真空機(jī)組

CNC真空泵,螺桿真空機(jī)組

精雕機(jī)真空設(shè)備,螺桿真空機(jī)組

螺桿真空機(jī)組,阿特拉斯螺桿真空泵

變頻螺桿真空泵,阿特拉斯螺桿真空機(jī)組

Case / 案例展示

光電LED屏用螺桿真空機(jī)組

2024 - 05 - 16

點(diǎn)擊次數(shù): 27

阿特拉斯螺桿真空泵在光電LED行業(yè)的應(yīng)用特點(diǎn)，主要體現(xiàn)在其高效、穩(wěn)定、可靠的性能上。在生產(chǎn)光電LED產(chǎn)品時，需要快速達(dá)到并保持一定的真空度，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。阿特拉斯螺桿真空泵能夠在短時間內(nèi)迅速達(dá)到所需的真空度，并保持穩(wěn)定的運(yùn)行狀態(tài)。在光電LED行業(yè)的生產(chǎn)過程中，設(shè)備需要長時間連續(xù)運(yùn)行，這就要求真空泵具有良好的耐用性和可靠性。阿特拉斯螺桿真空泵經(jīng)過嚴(yán)格的制造工藝和質(zhì)量檢驗(yàn)，能夠在惡劣的工...

光電半導(dǎo)體阿特拉斯螺桿真空機(jī)組

2024 - 05 - 08

點(diǎn)擊次數(shù): 17

螺桿真空泵于半導(dǎo)體設(shè)備意義重大：若半導(dǎo)體器件不同材料層之間混入氣體分子，會破壞器件的電學(xué)或光學(xué)性能，而真空系統(tǒng)可對芯片的性能和良率起決定性作用。半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用：晶圓制造過程中的單晶拉晶、LoadLock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴(yán)苛制程。Atlas螺桿真空機(jī)擁有VSD和設(shè)定點(diǎn)控制功能，而常規(guī)的真空泵是不具備這樣的功能的，可根據(jù)實(shí)際所需真空水平或速度，提供需求的真空氣量，避免造成浪...

螺桿真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

2023 - 08 - 31

點(diǎn)擊次數(shù): 924

螺桿真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。這是因?yàn)槁輻U真空泵具有穩(wěn)定的抽氣性能，能夠提供清潔、無油、低溫和高溫真空環(huán)境，非常適合半導(dǎo)體工業(yè)的需求。以下是螺桿真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)中的一些應(yīng)用：氣相沉積和蝕刻：在半導(dǎo)體制造過程中，螺桿真空泵可用于提供穩(wěn)定的真空環(huán)境，促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)和物質(zhì)沉積，例如在硅片上沉積薄膜。此外，在蝕刻工藝中，螺桿真空泵可提供真空環(huán)境，促進(jìn)蝕刻反應(yīng)的進(jìn)行。蒸餾和干燥：螺桿真空泵可用于半...

固晶機(jī)分光編帶車間能耗大噪音大解決方案

2023 - 04 - 25

點(diǎn)擊次數(shù): 43

客戶現(xiàn)場有LED固晶機(jī)80臺，配備旋片真空泵80臺，分光編帶200臺，配備微型真空泵200臺，根據(jù)客戶反映年消耗電力高達(dá)652800KWh。通過恒才工程師到達(dá)現(xiàn)場考擦溝通，根據(jù)產(chǎn)品真空要求，恒才設(shè)計(jì)了真空解決方案——中央真空系統(tǒng)（2臺GHS VSD+變頻油潤滑螺桿真空泵，一備一用），最高功率為22KW。LED分光編帶車間中央真空系統(tǒng)應(yīng)用特點(diǎn)：1.使用中央真空系統(tǒng)改造后，原有固晶機(jī)的旋片泵，分光編帶...

推薦產(chǎn)品 / Products

阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌光電真空系統(tǒng)-螺桿真空機(jī)組

光電真空系統(tǒng)-阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌螺桿真空機(jī)組：真空領(lǐng)域和減排系統(tǒng)阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌螺桿真空機(jī)組應(yīng)用領(lǐng)域：分析儀器、化工、食品加工、發(fā)電解決方案、半導(dǎo)體、平板顯示、可再生能源（太陽能、LED照明、儲能等）、石材、印刷包裝、家具木材等行業(yè)。半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用：晶圓制造過程中的單晶拉晶、LoadLock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴(yán)苛制程。真空泵于半導(dǎo)體設(shè)備意義重大：若半導(dǎo)體器件不同材料層之間混入氣體分子，會破壞器件的電學(xué)或光學(xué)性能，而真空系統(tǒng)可對芯片的性能和良率起決定性作用。阿特拉斯·科普柯Atlas Copco品牌螺桿真空機(jī)擁有VSD和設(shè)定點(diǎn)控制功能，而常規(guī)的真空泵是不具備這樣的功能的，可根據(jù)實(shí)際所需真空水平或速度，提供需求的真空氣量，避免造成浪費(fèi)，Atlas螺桿真空泵是真空領(lǐng)域的節(jié)能減排真空系統(tǒng)，節(jié)能可達(dá)50%，深受用戶好評。

發(fā)布時間： 2024 - 05 - 08