真空熱處理工藝的發(fā)展，是與設(shè)備的發(fā)展分不開的，提高設(shè)備技術(shù)水平以適應(yīng)工藝要求，往往又與配套件技術(shù)的發(fā)展密切相關(guān)。

　　在1873年發(fā)明白熾燈泡前，主要是用活塞式抽氣機(jī)獲得真空，但只能達(dá)到0.25乇的真空度。隨后電子管制造技術(shù)要求更高的真空度，就促進(jìn)了真空技術(shù)的發(fā)展，因而相繼出現(xiàn)了各種真空泵:旋轉(zhuǎn)水銀泵(1905年)，油封旋轉(zhuǎn)泵(1907年)、分子泵(1913年)和擴(kuò)散泵(1915年)。其中擴(kuò)散泵的發(fā)明、使真空技術(shù)進(jìn)入高真空度(10-8毛左右)的階段。隨著近代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，例如加速器、熱核反應(yīng)裝置，大型真空爐等，都要求能在大容積的空間建立必要的真空度。因此，到了60年代初期,擴(kuò)散泵的排氣速度已達(dá)到了數(shù)萬升/秒的能力。

　　但是，就真空熱處理所需的真空度而言，一般達(dá)到1x10-2~1x10-4乇就足夠了，只在特殊情況下，才用1x10-5~1X10-6乇的真空度。所以真空熱處理爐常用的真空泵，是由機(jī)械泵和油蒸發(fā)擴(kuò)散泵所組成。

　　作為一種運(yùn)行介質(zhì)，泵油在真空泵中起著以下重要作用：

　　密封---防止大氣進(jìn)入排氣閥，有相對(duì)運(yùn)動(dòng)零件間的間隙密封(轉(zhuǎn)子與定子、旋片與轉(zhuǎn)子槽等)。

　　潤(rùn)滑---相對(duì)運(yùn)動(dòng)件間的潤(rùn)滑，降低磨損。

　　冷卻---油在泵內(nèi)與油箱間循環(huán)，散熱、冷卻。

　　攜裹---將磨損產(chǎn)生的塵粒或其它顆粒挾裹在油中，減小磨損傷害。

　　保護(hù)---形成保護(hù)性油膜，避免水及化學(xué)蒸汽凝結(jié)物腐蝕泵內(nèi)部件。

　　真空泵油的性能要求：

　　高溫下飽和蒸汽壓要低，易揮發(fā)成分要少。最低的水含量和吸水性。要有一定粘度，且隨溫度變化小(粘度溫升曲線平滑)。潤(rùn)滑性能好，機(jī)械應(yīng)力下具有良好的抗裂解性?？垢g、抗氧化、化學(xué)性能穩(wěn)定。