真空熱處理被當代熱處理界稱為高效、節(jié)能、無污染的清潔熱處理。真空熱處理零件具有不氧化、不脫碳、不脫氣、不脫脂、表面質(zhì)量好、變形小、綜合力學性能高、可靠性好(重復性好、壽命穩(wěn)定)等一系列優(yōu)點。因此，真空熱處理在國內(nèi)外得到了廣泛的重視和應用。并將真空熱處理的普及程度作為衡量一個國家熱處理技術(shù)水平的重要標志。真空熱處理技術(shù)是近四十年來熱處理技術(shù)發(fā)展的熱點，也是先進制造技術(shù)的重要領(lǐng)域。在這里，我們將告訴您在用真空對真空泵進行熱處理時應該注意的幾點：

　　一、當用真空泵處理鈦合金時，不應使用氮氣作為冷卻氣體，因為鈦和氮氣會在高溫下反應生成金氮化鈦。

　　二、真空泵的活動連接部分用O型橡膠圈密封，該部分用水冷卻。

　　三、真空泵工件在真空中淬火，應使用真空淬火油，這種油具有較低的飽和蒸汽壓。

　　四、真空爐的維護應處于真空或純氮氣狀態(tài)，防止不使用時吸入水分。

　　五、國內(nèi)真空爐壓力上升速率應不超過1.33帕/小時，國外一些企業(yè)規(guī)格為0.67帕/小時

　　六、真空加熱以輻射為主，工件應堅持在爐內(nèi)的間距。

　　七、在真空泵加熱工件的過程中，爐內(nèi)數(shù)據(jù)會放氣，使真空度下降。

　　八、真空回火、真空退火、真空固溶處理和真空時效的加熱溫度一般與常規(guī)處理相同。

　　九、真空回火爐應有快速冷卻裝置。冷卻水的壓力應大于0.2兆帕流量，并應可調(diào)。

　　十.冷卻氣體：鋼一般用純度為99.995%的氮氣，高溫合金用純度為99.999%的氮氣或氬氣，鈦合金用純度為99.995%的氬氣。

　　十一、真空泵進入工件后，普通預熱前預抽至6.67帕。