半導(dǎo)體工藝真空主要用于蒸發(fā)、濺射、PECVD、真空干法刻蝕、真空吸附、測(cè)試設(shè)備、真空清洗等鍵合工藝。半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過(guò)程中容易產(chǎn)生易燃、易爆、有毒物質(zhì)和氣體，對(duì)生產(chǎn)和人員安全構(gòu)成威脅。因此，半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中的幾個(gè)安全注意事項(xiàng)如下:
1.定期清潔真空泵及其他附件、過(guò)濾器和管道，以避免過(guò)壓
在半導(dǎo)體真空泵的應(yīng)用中，當(dāng)介質(zhì)在介質(zhì)提取過(guò)程中通過(guò)反應(yīng)室和真空泵時(shí)，介質(zhì)的組成可能極其復(fù)雜。例如，SiH4和O2在泵口形成二氧化硅，而四氯化鈦水解形成氯化氫。假設(shè)使用油封機(jī)械泵，這些氣態(tài)物質(zhì)也可能與泵油發(fā)生反應(yīng)。這些變化假設(shè)顆粒、可冷凝物或腐蝕性介質(zhì)的形成，可能會(huì)堵塞真空泵或管道系統(tǒng)，影響真空泵的性能，導(dǎo)致壓力升高或過(guò)壓，并帶來(lái)更大的風(fēng)險(xiǎn)。因此，有必要及時(shí)清理，必要時(shí)設(shè)置過(guò)濾設(shè)備。
2.有效稀釋有害氣體的濃度
半導(dǎo)體容易產(chǎn)生上述易燃、易爆和有毒有害氣體。因此，在半導(dǎo)體真空泵的應(yīng)用中，當(dāng)抽取這些介質(zhì)時(shí)，有必要防止真空泵或排氣過(guò)程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。例如，當(dāng)與空氣或氧氣接觸時(shí)，SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物質(zhì)會(huì)引起燃燒甚至爆炸。當(dāng)空氣中氫氣的混合比例達(dá)到一定程度和溫度時(shí)，也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于物質(zhì)的數(shù)量及其與環(huán)境壓力和溫度的關(guān)系。因此，當(dāng)半導(dǎo)體真空泵提取這些介質(zhì)時(shí)，在壓縮前的當(dāng)前條件下，需要惰性氣體如氮?dú)鈱⑦@些氣體稀釋到安全范圍。
3.注意氧氣的濃度
如果空氣中的氧氣濃度過(guò)高，燃燒和爆炸風(fēng)險(xiǎn)也會(huì)發(fā)生。因此，在某些情況下，應(yīng)注意氧氣的濃度，并應(yīng)使用惰性氣體稀釋它，以防止?jié)舛冗^(guò)高。假設(shè)油封機(jī)械泵可能需要使用一些惰性氧兼容真空泵油，并及時(shí)更換濾油器和油品。
4.防止溫度過(guò)高
這一點(diǎn)更容易理解。在半導(dǎo)體在真空泵中的應(yīng)用中，有許多有害氣體。然而，無(wú)論是干式真空泵還是油封機(jī)械泵，如果泵腔內(nèi)的溫度過(guò)高，易燃、易爆和有毒氣體在高溫下很容易造成危險(xiǎn)。
當(dāng)我們使用真空泵時(shí)，需要注意導(dǎo)體使用中的安全注意事項(xiàng)，并做好以后的使用工作。