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2020
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半導(dǎo)體工藝真空主要用于蒸發(fā)、濺射、PECVD、真空干法刻蝕、真空吸附、測(cè)試設(shè)備、真空清洗等鍵合工藝。半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生易燃、易爆、有毒物質(zhì)和氣體,對(duì)生產(chǎn)和人員安全構(gòu)成威脅。因此,半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中的幾個(gè)安全注意事項(xiàng)如下: 1.定期清潔真空泵及其他附件、過濾器和管道,以避免過壓 在半導(dǎo)體真空泵的應(yīng)用中,當(dāng)介質(zhì)在介質(zhì)提取過程中通過反應(yīng)室和真空泵時(shí),介質(zhì)的組成可能極其復(fù)雜。例如,SiH4和O2在泵口形成二氧化硅,而四氯化鈦水解形成氯化氫。假設(shè)使用油封機(jī)械泵,這些氣態(tài)物質(zhì)也可能與泵油發(fā)生反應(yīng)。這些變化假設(shè)顆粒、可冷凝物或腐蝕性介質(zhì)的形成,可能會(huì)堵塞真空泵或管道系統(tǒng),影響真空泵的性能,導(dǎo)致壓力升高或過壓,并帶來更大的風(fēng)險(xiǎn)。因此,有必要及時(shí)清理,必要時(shí)設(shè)置過濾設(shè)備?! ?.有效稀釋有害氣體的濃度 半導(dǎo)體容易產(chǎn)生上述易燃、易爆和有毒有害氣體。因此,在半導(dǎo)體真空泵的應(yīng)用中,當(dāng)抽取這些介質(zhì)時(shí),有必要防止真空泵或排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。例如,當(dāng)與空氣或氧氣接觸時(shí),SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物質(zhì)會(huì)引起燃燒甚至爆炸。當(dāng)空氣中氫氣的混合比例達(dá)到一定程度和溫度時(shí),也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于物質(zhì)的數(shù)量及其與環(huán)境壓力和溫度的關(guān)系。因此,當(dāng)半導(dǎo)體真空泵提取這些介質(zhì)時(shí),在壓縮前的當(dāng)前條件下,需要惰性氣體如氮?dú)鈱⑦@些氣體稀釋到安全范圍?! ?.注意氧氣的濃度 如果空氣中的氧氣濃...
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如果您從事木工行業(yè),那么您可能已經(jīng)熟悉工業(yè)真空泵。從固定和提升到層壓和木材干燥,這些機(jī)器對(duì)于推動(dòng)木工過程中涉及的各種應(yīng)用至關(guān)重要。但是您是否知道最適合該行業(yè)的真空泵技術(shù)類型? 木料用什么真空泵更好? 一般而言,旋轉(zhuǎn)螺桿真空泵和干爪真空泵是木工應(yīng)用的理想選擇,因?yàn)樗鼈兪欠墙佑|式真空技術(shù),不會(huì)遭受性能元件的磨損。 與葉片泵相比,GHS VSD +等旋轉(zhuǎn)螺桿泵具有較高的性能水平,并減少了維護(hù),噪音和熱量散發(fā)-所有這些都?xì)w功于螺桿技術(shù)。它們通常配備VSD技術(shù)(使其非常經(jīng)濟(jì)),并且還具有壓力設(shè)定點(diǎn)控制功能,可確保泵提供盡可能低的真空流量,從而可以維持所需的真空度。結(jié)果?降低了生命周期的運(yùn)營(yíng)成本,并且沒有浪費(fèi)過多的能源?! 「墒阶Ρ靡彩悄竟さ睦硐爰夹g(shù)。由于主泵腔中沒有潤(rùn)滑,因此沒有污染的威脅。其次,沒有任何磨損-兩個(gè)爪形轉(zhuǎn)子彼此相反的方向運(yùn)行;它們不會(huì)彼此接觸,也不會(huì)與泵室接觸!這意味著沒有磨損,非常耐用,并且可以維修和清潔。干式爪泵也可以組合成多系統(tǒng)單元?! 『悴艡C(jī)電廠家主要真空泵產(chǎn)品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水環(huán)真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列羅茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺桿真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系統(tǒng)等產(chǎn)品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas),司倍克speck產(chǎn)品.真空泵廠家恒才機(jī)電憑借多年的生產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn),一流的技術(shù)人...
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旋片真空泵主要用于獲得低、中真空度,它可分為油封泵和干式泵,根據(jù)所要求的真空度,還可以分為單級(jí)泵和雙級(jí)泵(使用更普遍)。旋片真空泵主要是由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋和彈簧等部件構(gòu)成。在旋片真空泵的腔內(nèi),有偏心地安裝了一個(gè)轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外邊與腔內(nèi)表面相切,轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的兩個(gè)旋片。當(dāng)轉(zhuǎn)子在運(yùn)轉(zhuǎn)的過程中,旋片能沿其徑向槽成往復(fù)式地滑動(dòng),并且與泵殼內(nèi)表面始終相接觸,此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn),進(jìn)而把真空泵腔體分為多個(gè)可變?nèi)莘e空間。 在使用旋片真空泵時(shí),需要注意以下事項(xiàng) 1.在使用旋片式真空泵前,需要保持泵的清潔,以免雜物進(jìn)入泵體里面。檢查油量,加油至油標(biāo)中心處,如果太低就會(huì)對(duì)排氣閥起不到油封的作用,對(duì)真空泵的真空度產(chǎn)生影響;如果過高,會(huì)產(chǎn)生噴油反應(yīng)。在真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)候會(huì)有正常的油量上升反應(yīng)。在加油時(shí),要使用符合規(guī)定的真空泵品牌的清潔真空泵油,從注油孔加入完畢之后,為防止其他雜物進(jìn)入真空泵油倉(cāng)內(nèi),要進(jìn)行過濾且堵塞油孔?! ?.在旋片真空泵工作環(huán)境溫度過高時(shí),旋片真空泵的油溫度也會(huì)升高,這是熱分子運(yùn)動(dòng)加快,油的粘度降低,導(dǎo)致飽和蒸氣壓變大,最終引起極限真空度變低,德耐爾真空泵廠家技術(shù)人員指出,想要使得真空泵真空度得到改善,可以加大風(fēng)力,改善真空泵油的質(zhì)量,從而降低溫度加快散熱?! ?.在使用旋片真空泵的作業(yè)過程中,抽取的物質(zhì)不應(yīng)該是含氧量過高、含水蒸氣量過高、易燃易爆以及對(duì)金屬有腐蝕性的氣體物質(zhì),...
2020
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液環(huán)真空泵(簡(jiǎn)稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,可獲得2000-4000帕的極限真空,液環(huán)真空泵與真空泵組成的機(jī)組真空度可達(dá)1-600帕。水環(huán)泵適用于輸送氣液混合物。這種泵也可以用作空氣泵和空氣壓縮機(jī)。它產(chǎn)生高絕對(duì)真空。壓縮比取決于旋轉(zhuǎn)水環(huán)的壓力以及側(cè)壁上排放口的大小和形狀。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī),稱為水環(huán)壓縮機(jī),屬于低壓壓縮機(jī),其壓力范圍為1 ~ 2× 10 5pa表壓?! ∷h(huán)泵最初用作自吸泵,然后逐漸用于許多工業(yè)部門,如石油、化學(xué)工業(yè)、機(jī)械、采礦、輕工業(yè)、醫(yī)藥和食品。在許多工業(yè)過程中,如真空過濾、真空引水、真空進(jìn)料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣,水環(huán)泵被廣泛使用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的迅速發(fā)展,水環(huán)泵在獲得原油真空方面受到了重視。由于水環(huán)泵中的氣體壓縮是等溫的,易燃易爆氣體以及含塵和含水氣體都可以去除。因此,水環(huán)泵的應(yīng)用日益增多。其他合適的液體也可以用作水環(huán)真空泵的工作流體。無(wú)論使用哪種工作流體,都統(tǒng)稱為液環(huán)真空泵。水環(huán)真空泵是最常見的液環(huán)真空泵?! ∽顝V泛使用的泵。泵體充滿適量的水作為工作流體。當(dāng)葉輪在圖中順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí),水被葉輪甩來甩去。由于離心力的作用,根據(jù)泵室的形狀,水形成厚度大致相等的閉合環(huán)。水環(huán)下部的內(nèi)表面正好與葉輪輪轂相切,水環(huán)上部的內(nèi)表面正好與葉片的尖端接觸(事實(shí)上,葉片在水環(huán)中具有一定的插入深度)。此時(shí),在葉輪輪轂和水環(huán)的內(nèi)界面之間形成新月形空間,并且該...
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真空泵的功能是從真空室中去除氣體分子,并降低真空室中的氣壓以達(dá)到所需的真空度。一般來說,從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍,到目前為止沒有一個(gè)真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。因此,為了達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備使用壽命要求,需要為不同的真空段選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為了獲得最佳配置,在選擇真空機(jī)組系統(tǒng)時(shí)應(yīng)考慮以下幾點(diǎn): 1.真空泵的極限壓力應(yīng)滿足工藝的工作壓力。通常,所選泵的極限壓力比工藝要求低一個(gè)數(shù)量級(jí)?! ?.每個(gè)泵都有一定的工作壓力范圍。因此,泵的工作點(diǎn)應(yīng)選擇在此范圍內(nèi),不允許在超過允許工作壓力的情況下長(zhǎng)時(shí)間工作?! ?.在其工作壓力下,真空泵應(yīng)該能夠排出真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體?! ?.選擇真空機(jī)組裝置: (1)當(dāng)一臺(tái)泵不能滿足抽氣和真空的要求時(shí),需要將幾臺(tái)泵組合起來,相互補(bǔ)充,以滿足工藝要求?! ?2)有些真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)抽真空;一些真空泵的出口壓力低于大氣壓,需要一個(gè)前置泵,所以所有的泵都需要組合使用。通過真空泵的組合,我們稱之為真空泵機(jī)組,它能使真空系統(tǒng)獲得更好的真空度和排量。我們應(yīng)該正確選擇組合式真空泵,因?yàn)椴煌恼婵毡脤?duì)被抽出的氣體有不同的要求,例如:羅茨-轉(zhuǎn)子機(jī)組不適合在正常情況下含有較多可冷凝氣體的系統(tǒng)?! ?.當(dāng)你選擇一個(gè)油封泵時(shí),你應(yīng)該首先知道你的真空系統(tǒng)是否對(duì)油污染有要求。如果設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油,應(yīng)選用各種非油泵,如:水環(huán)泵、低溫...
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根據(jù)水環(huán)真空泵的說法,它是一種利用機(jī)械能實(shí)現(xiàn)無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵。因此,對(duì)真空度的要求相對(duì)較高。如果真空度不夠高,真空泵的使用會(huì)受到影響。因此,應(yīng)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行檢查,找出故障原因并予以糾正。 1.水環(huán)真空泵冷卻水流量不足:應(yīng)增加冷卻水流量?! ?.裝配不當(dāng)會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)子軸向位移,導(dǎo)致單側(cè)磨損:應(yīng)將其拆卸下來進(jìn)行檢查并重新裝配?! ?.吸入硬物磨損真空泵本體:拆卸水環(huán)真空泵,去除硬物,修理或更換劃傷的零件。 4.真空泵的溫度太高:泵送氣體的溫度太高。讓氣體在進(jìn)入真空泵之前冷卻進(jìn)入;應(yīng)使用冷卻水或電風(fēng)扇來冷卻溫度。同時(shí),檢查相關(guān)零件的配合間隙,并根據(jù)規(guī)定的精度要求進(jìn)行修理或更換。 5.水環(huán)真空泵本身會(huì)泄漏空氣:泵本身密封不嚴(yán),會(huì)在軸封處泄漏空氣。應(yīng)該更換空氣閥件。如果密封圈泄漏,檢查所有密封件的密封情況,并更換損壞的密封圈。如果氣動(dòng)閥墊圈損壞或未擰緊,更換墊圈并擰緊氣動(dòng)閥。當(dāng)真空泵中的隔膜被壓入時(shí),干涉太大,導(dǎo)致真空泵腔變形并泄漏氣體。應(yīng)該修理或更換真空泵腔。漏氣是由于真空泵端面油密封不良造成的。應(yīng)拆卸端蓋,檢查是否有雜物或不平,然后清洗或修理?! ?.真空泵油有一個(gè)問題:如果油位太低,在油痕中間的管路中加入足夠的油;如果機(jī)油被污染和變質(zhì),請(qǐng)更換新的機(jī)油。如果油的品牌不匹配,應(yīng)更換指定品牌的真空泵油。油道堵塞,水環(huán)真空泵室不能保持適當(dāng)?shù)挠土?。檢查油路和油閥的進(jìn)油量,保持油路暢通?! ?.水環(huán)...
2020
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爪式干式真空泵 正確掌握爪式干式真空泵的維護(hù)要求,可以減少因維護(hù)不足而造成的設(shè)備故障。 爪式干式真空泵的維護(hù)程序 1.操作注意事項(xiàng) (1)每次啟動(dòng)前檢查設(shè)備和管道的正常連接。 (2)起動(dòng)前,確認(rèn)進(jìn)氣管和排氣管中沒有異物,并打開排氣管閥以防止壓力增大?! ?3)真空泵啟動(dòng)后,再次打開進(jìn)氣管道閥門,防止異物進(jìn)入堵塞腔體?! ?4)觀察油位窗口,檢查潤(rùn)滑油確保充足 (5)對(duì)于含有粘性物質(zhì)或灰塵的工作條件,應(yīng)定期清潔濾網(wǎng)和泵室。建議每次停泵前進(jìn)行清洗 (6)如果在間歇條件下停機(jī)后啟動(dòng)不平穩(wěn),應(yīng)打開電機(jī)蓋,使電機(jī)軸旋轉(zhuǎn)5-10圈,或吹蒸汽10分鐘 (7)當(dāng)抽出可冷凝氣體或環(huán)境濕度過高時(shí),應(yīng)在停泵前引入適量的干燥空氣,并排空泵腔。 (8)長(zhǎng)時(shí)間停泵時(shí),關(guān)閉進(jìn)氣閥,啟動(dòng)真空泵20分鐘后關(guān)閉排氣口,然后停泵以避免水汽進(jìn)入 (9)運(yùn)行中確保循環(huán)冷卻水的數(shù)量和溫度符合技術(shù)要求。如遇斷水,請(qǐng)停泵; (10)當(dāng)環(huán)境溫度低于零時(shí),循環(huán)冷卻水應(yīng)在泵停止時(shí)流動(dòng),以防止空腔凍結(jié)和破裂?! ?11)對(duì)于含有可冷凝氣體的工作條件,排氣管必須低于排氣口。排氣口朝上,與三通連接,與回收罐連接?! ?.潤(rùn)滑系統(tǒng)的維護(hù) (1)注入齒輪箱加的潤(rùn)滑油品牌為32#或46#機(jī)械潤(rùn)滑油,首次運(yùn)行每10個(gè)工作日更換一次。此后,潤(rùn)滑油將每年更換一次。每天定期檢查油位,油位應(yīng)保持在1/2至3/4之間。如果低于此標(biāo)準(zhǔn),...
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