發(fā)布時間:
2021
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03
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來源:
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1.風冷 羅茨真空泵由于氣體的傳輸和壓縮而產(chǎn)生熱量，這些熱量必須從轉(zhuǎn)子散發(fā)到殼體。然而，在低壓下，氣體的傳導和對流性能極差，因此轉(zhuǎn)子吸收的熱量不易散發(fā)，這使轉(zhuǎn)子溫度始終高于殼體溫度?！ ∮捎谵D(zhuǎn)子的熱膨脹，減小了轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼之間的間隙，特別是當壓差也很高時，這尤其嚴重，甚至使轉(zhuǎn)子卡住并損壞泵。為了使羅茨泵在更大的壓差下運行，以擴大使用范圍并提高泵的可靠性，有必要嘗試消散轉(zhuǎn)子產(chǎn)生的熱量，即對轉(zhuǎn)子進行冷卻?！ 榱肆私饪諝饫鋮s的本質(zhì)，我們首先來看一下真空泵排氣側(cè)的氣流。在羅茨真空泵中，吸入氣體的壓縮過程不是連續(xù)的，而是突然的。隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，吸入氣體被鎖定在腔體中，并且隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，腔體中的氣體突然連接到排氣口?！ ∮捎谂艢鈧?cè)的較高氣壓，排氣口中的氣體返回到空腔，然后隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而離開泵。在這樣的過程中，兩個轉(zhuǎn)子在每轉(zhuǎn)中總共執(zhí)行四個排氣過程。 根據(jù)上述氣流，可以假設(shè)，如果每次排放回到泵腔中的氣體是冷的，則大量的熱量會被吸收到高溫泵腔中并吸收熱量。氣體在排氣轉(zhuǎn)子中不斷壓縮，以達到轉(zhuǎn)子冷卻的目的?！ 】諝饫鋮s采用上述原理。在泵的排氣口安裝密集的散熱片。散熱片用冷水管冷卻，或者將冷卻水管直接安裝到泵的排氣口中，從而冷卻排氣口中的氣體。這種冷卻方法可以有效地將羅茨泵轉(zhuǎn)子產(chǎn)生的重量消散到壓縮氣體中。另外，當排氣壓力高時，由于氣體分子的密度高，所以導熱性能更好，冷卻效果也更好。 使用此方法可以確保泵在較高的壓差下工作。實驗表明，羅茨泵運行6個小時，壓力差為30托，轉(zhuǎn)子與機殼之間的溫差為22度。將其安裝在冷卻器后的排氣口中時，可在85 Torr的壓差下長時間工作，溫度差不超過17度。一般說來，羅茨真空泵采用空冷后，壓差可以增加80托，不帶冷卻器只能達到1530托?！ ≡摾鋮s方法與環(huán)境溫度有關(guān)，并且當環(huán)境溫度高時，吸入氣體的溫度較高。因此散熱效果不好。另外，這種方法只能避免由...