2020
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真空系統(tǒng)是指由真空泵、真空計及各種零件通過管道以適當?shù)姆绞铰?lián)接,組合成能達到一定真空度要求的裝置。真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些? 1.在被抽器件或工作室內獲得所需的極限真空和工作真空度。 極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地低于極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側面對器件質量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2極除氣和陰極分解會大量出氣,如果工作真空度差,則可能出現(xiàn)電極被氧化及陰極激活欠佳的結果。但器件最后封離時已基本上無漏放氣,器件內的真空度就取決于排氣真空系統(tǒng)的極限真空度?! ?.為獲得某一工作真空度所需的時間 這時間決定于真空系統(tǒng)抽速的大小。提高抽速可縮短這一時間。大的工作室顯然需要大的抽速。有時工作室雖然不大,但由于漏放氣嚴重,則真空系統(tǒng)也需要大的抽速,否則大量的漏放氣將大大降低真空度,使系統(tǒng)無法工作?! ?.在被抽器件或工作室內有合適的殘氣成分 實踐證明,單純提高和保證極限真空度及工作真空度是不夠的,還應對殘余氣體成分有一定的要求。例如真空攝像器件,為了保持在一年壽命期內靈敏度的降低不大于巧,要求器件內的殘余氣體的含氧量應不高于10-2Pa 耐高壓的真空開關管內,應不含有碳氫化合物分子等等。真空系統(tǒng)的殘...