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2020
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一、羅茨真空泵結(jié)構(gòu) 泵的總體結(jié)構(gòu)由羅茨真空泵泵體的布置決定。目前，國內(nèi)外羅茨真空泵的總體結(jié)構(gòu)大致有三種類型。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平布置，便于管道的組裝和連接。然而，這種泵重心高，高速時(shí)穩(wěn)定性差，所以這種泵主要用于小型泵。臥式泵的入口在上方，出口在下方。有時(shí)，為了便于真空系統(tǒng)管道的安裝和連接，排氣口可以從水平方向連接，即進(jìn)氣和排氣方向相互垂直。此時(shí)，排氣口可以從左或右方向打開，并且除了排氣管的一端之外，另一端被阻塞或與旁通閥連接。該泵重心低，高速時(shí)穩(wěn)定性好。一般來說，大中型泵都采用這種結(jié)構(gòu)。泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸垂直于水平面安裝。這種結(jié)構(gòu)的裝配間隙易于控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵的占地面積小。但是，泵重心高，齒輪拆裝不方便，潤滑機(jī)構(gòu)相對復(fù)雜。只在外國產(chǎn)品中發(fā)現(xiàn)?！ 《?、羅茨真空泵傳輸方式 羅茨真空泵二號轉(zhuǎn)子通過一對高精度齒輪實(shí)現(xiàn)相對同步運(yùn)行。驅(qū)動(dòng)軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)連接。主要有以下兩種類型的傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置： 一是電機(jī)和齒輪位于轉(zhuǎn)子的同一側(cè)，從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電機(jī)的端齒輪直接驅(qū)動(dòng)，因此驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形較小，兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因驅(qū)動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形較大而改變，因此轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)行時(shí)是均勻的。 這種傳動(dòng)方式最大的缺點(diǎn)是：a .傳動(dòng)軸上有三個(gè)軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆卸和調(diào)整不方便;b .整體結(jié)構(gòu)不對稱，泵的重心偏向電機(jī)和齒輪箱?！ 《请姍C(jī)和傳動(dòng)裝置分別安裝在轉(zhuǎn)子的兩側(cè)。這種形式使泵...
2020
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08
真空泵維修的關(guān)鍵點(diǎn)是分辨常見故障。可是，跨專業(yè)的專業(yè)技術(shù)人員沒法第一時(shí)間分辨出真空泵到底發(fā)生什么事難題、常見故障的緣故，這種全是十分有工作經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)技術(shù)人員才能夠查驗(yàn)出去，接下去，就給大伙兒列舉廣東省真空泵維修的平時(shí)實(shí)際操作有哪些層面，讓大伙兒對真空泵維修全過程提升一點(diǎn)了解，便捷大伙兒可以對自身的機(jī)器設(shè)備有一定的剖析?！ ?、真空泵在一切正常應(yīng)用狀況下，工作中2000個(gè)鐘頭以后，必須開展真空泵維修解決，關(guān)鍵查驗(yàn)真空泵自動(dòng)排氣閥片是不是有裂開狀況，也有便是真空泵液壓密封件的脆化水平，假如脆化很嚴(yán)重，務(wù)必要對液壓密封件開展拆換。而且，要對真空泵泵腔內(nèi)的零件開展清洗，包含真空泵旋片，電機(jī)轉(zhuǎn)子和真空泵彈黃等，及其清除真空泵泵殼和自動(dòng)排氣閥座上的廢棄物。清洗真空泵泵腔零件提議應(yīng)用車用汽油清洗，而且清洗以后開展風(fēng)干，操作流程中務(wù)必禁止用火，并且各零件要輕拿小心輕放，以防磕傷?！ ?、真空泵應(yīng)用全過程中，一定要留意滾動(dòng)軸承所處自然環(huán)境的溫度，滾動(dòng)軸承所承擔(dān)的最大溫度不可超出80℃，超出這一溫度會(huì)大大減少真空泵的使用期?！ ?、真空泵維修全過程中，能夠用力旋轉(zhuǎn)真空泵，檢測真空泵是不是靈便，而且要查驗(yàn)真空泵管道及相接處是不是出現(xiàn)松脫狀況?！ ?、真空泵油針對真空泵而言十分關(guān)鍵，要常常查驗(yàn)真空泵油，假如發(fā)覺真空泵油有臟物或是霉變時(shí)，要立即拆換新油，要保證真空泵一切正常工作中。 5、一般狀況下，真空泵...
2020
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05
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羅茨真空泵具有啟動(dòng)快、功耗低、運(yùn)行維護(hù)成本低、吸氣速度快、效率高、對吸入氣體中含有的少量水蒸氣和灰塵不敏感、100-1壓力范圍內(nèi)的吸氣速度大、能快速排除突然排出的氣體等優(yōu)點(diǎn)。羅茨真空泵和前級泵的吸氣速度之間有什么關(guān)系? 羅茨真空泵抽吸率和前級泵抽吸率的相關(guān)性在于羅茨真空泵的高容積效率和允許壓差。容積效率低，羅茨鼓風(fēng)機(jī)組的有效抽吸速度顯著降低。當(dāng)羅茨真空泵壓差超過允許的大壓差時(shí)，壓縮功能將導(dǎo)致轉(zhuǎn)子過熱、膨脹和固定。因?yàn)楸脷と菀准訜嶂車h(huán)境，所以它仍然不太熱?！ ×_茨真空泵允許的容許壓力在40-100百帕范圍內(nèi)。在高壓范圍(150百帕)內(nèi)，允許的容許壓力稍高。由于位移，轉(zhuǎn)子的冷卻得到改善。隨著壓差的增加，所需的能量也會(huì)增加。 如果在羅茨真空泵，出口的管道上安裝一個(gè)特殊的氣體冷卻器，允許的大壓差將會(huì)增加。冷卻氣體的逆流是為了將轉(zhuǎn)子的溫度保持在規(guī)定的范圍內(nèi)?！ ≡谡婵蘸透哒婵辗秶鷥?nèi)，吸氣速度比大于10:1。當(dāng)進(jìn)氣壓力變化明顯或前壓力變化較慢時(shí)，壓縮比會(huì)降低，因此變速比大于5: 1?！ ‘?dāng)羅茨真空泵在高壓下啟動(dòng)時(shí)，壓力下降得更快，達(dá)到規(guī)定的壓力。啟動(dòng)時(shí)，它超過了允許的最大壓差。然而，在短期負(fù)荷下(10分鐘以上)，羅茨真空泵的電機(jī)一般沒有問題?！ ‘?dāng)入口壓力很低或前級泵的氣鎮(zhèn)閥工作時(shí)，通常使用二級前級泵。否則，羅茨真空泵要求的前壓力難以達(dá)到，前泵在此壓力下的吸入速度太低。高壓縮比會(huì)降低容積...
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單級旋片真空泵是真空等離子體清洗機(jī)中常用的一種真空泵。由于單級旋片真空泵工作頻率高，使用時(shí)間長，因此有必要根據(jù)使用要求對單級旋片真空泵進(jìn)行定期維護(hù)，以避免因長期不維護(hù)而導(dǎo)致設(shè)備故障。今天，我們將介紹單級旋片，等離子清洗機(jī)真空泵的維護(hù)方法和注意事項(xiàng)，供您參考?！ ≡谌粘Ｊ褂弥校覀兛梢酝ㄟ^油位窗口定期觀察油位，以確定是否需要添加真空泵專用油，并通過觀察油位窗口和油路循環(huán)管來確認(rèn)真空泵油的顏色和狀態(tài)。如果真空泵油顏色深或稠，需要及時(shí)更換真空泵專用油和濾芯，清洗真空泵，進(jìn)行真空泵維護(hù)。 單級旋片真空泵的組成及維護(hù)對象 真空等離子清洗機(jī)單級旋片真空泵的日常維護(hù)主要是機(jī)械泵室、進(jìn)氣口、機(jī)械泵濾油器和真空泵專用油?！ 渭壭婵毡玫木S護(hù)過程 真空等離子清洗機(jī)單級旋片真空泵的維護(hù)過程如下：排油拆卸過濾器清洗進(jìn)氣口清洗機(jī)械泵室更換濾油器更換真空泵專用油 放油 單級旋片真空泵維護(hù)的第一步是排出單級旋片真空泵的廢油。放油時(shí)，需要用扳手打開油口的密封蓋，然后打開油閥。當(dāng)油箱中的真空泵油基本排出時(shí)，傾斜單級旋片真空泵可以排出泵中更多的廢油?！ ∪绻婵毡脤Ｓ糜陀峙K又粘，就很難完全釋放或排出，通過在注油口加壓，可以盡可能多地釋放出更多的廢油?！ ∵^濾器拆除 單級旋片真空泵維護(hù)的第二步是拆卸單級旋片真空泵的過濾器。拆除過濾器需要用10號扳手拆除排氣口的固定螺釘，然后拆除排氣口蓋板。此時(shí)，可以看到...
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旋片真空泵在除氣器中的應(yīng)用文本：除氣器使用旋片真空泵有兩個(gè)主要原因。一種是將泥漿罐中的氣割泥漿吸至除氣器頂部，使其在擋板、錐體或漏斗上形成薄層流。另一種是排出脫氣槽釋放的氣體和進(jìn)入空氣。旋片真空泵還能產(chǎn)生壓力，通過細(xì)長的排氣管排出氣體?！ 〈_保浮球始終正常工作非常重要，以防止儲(chǔ)罐中的泥漿液面上升并通過管道進(jìn)入旋片真空泵。除氣器安裝在真空管路上，通常用于收集熱泥漿中的水蒸氣，并在底部將其冷凝成液體。當(dāng)除氣器關(guān)閉時(shí)，水可以被釋放。除氣器的上部設(shè)有帶安全閥的浮球。如果水蒸氣凝結(jié)或真空罐中的液位太高而不能使泥漿脫水進(jìn)入，浮球?qū)㈥P(guān)閉通向真空泵的通道?！ ‘?dāng)除氣器上部的安全閥泄漏并使泥漿進(jìn)入成為真空泵時(shí)，缸體、活塞環(huán)和軸承將被研磨。如果發(fā)生這種情況，旋片真空泵必須拆卸并徹底清洗。如果安全閥卡住并打開，大量的泥漿會(huì)流過安全閥，損壞閥門、活塞和拉桿。擋泥板進(jìn)入曲軸箱將導(dǎo)致油位上升。這也是浮閥失效的標(biāo)志?！ ⌒婵毡迷诔龤馄髦械膽?yīng)用特點(diǎn) 1.泥漿進(jìn)入被旋片真空泵泵入真空罐，氣體被泵出真空罐。真空泵在這里扮演兩個(gè)不同的角色。 2.在工作過程中，旋片真空泵始終處于等溫狀態(tài)，適用于抽取易燃易爆氣體，安全性能可靠?！ ?.泥漿通過轉(zhuǎn)子的窗口高速射向四壁，泥漿中的氣泡完全破碎，脫氣效果好?！ ?.主電機(jī)被偏置，整個(gè)機(jī)器的重心降低。 5.采用皮帶傳動(dòng)，避免了減速機(jī)構(gòu)的復(fù)雜化?！ ?.汽水分離器的應(yīng)用不會(huì)...
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真空系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)還是比較多的。接下來，介紹我們就來介紹真空系統(tǒng)的內(nèi)容?！ ≌婵障到y(tǒng)簡介 通過真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，在單個(gè)生產(chǎn)機(jī)器上，更多的單個(gè)泵被幾個(gè)更大的真空泵代替。自動(dòng)變頻控制系統(tǒng)通過儲(chǔ)氣罐的主支管配置并連接到生產(chǎn)機(jī)器上。真空供應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)要求全自動(dòng)，節(jié)能、低成本、維護(hù)方便、性能穩(wěn)定。員工工作區(qū)域的噪音水平大大降低，以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)要求。 真空泵應(yīng)用部分 1.生產(chǎn)用真空主要是通過高真空減少工作空間的空氣，保持工作空間的清潔。所用真空泵的主要類型包括干式泵(干式螺旋真空泵、爪式泵)、分子泵及其裝置。生產(chǎn)用真空設(shè)備數(shù)量多，功率小。 2.清潔真空主要利用負(fù)壓和大氣壓之間的差異來清潔或輸送液體或顆粒。對于這些應(yīng)用，主要使用水環(huán)泵和多級離心風(fēng)扇。由于真空度低，通常采用多級離心風(fēng)機(jī)，真空源是其系統(tǒng)的一部分。 3.工藝真空主要采用工件搬運(yùn)負(fù)壓吸附或夾緊。螺桿泵、爪式泵、水環(huán)泵、旋轉(zhuǎn)葉片泵和微油螺桿泵等干式泵都是過程真空中常見的真空設(shè)備?！ ≌婵障到y(tǒng)的組成 真空泵+控制系統(tǒng)+儲(chǔ)氣罐+管道安裝 半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用安全事項(xiàng)： 1、防止真空泵溫度過高： 真空泵溫度過高會(huì)影響真空度和排氣量，對生產(chǎn)有直接影響。在半導(dǎo)體在真空泵的應(yīng)用中，有害氣體比較多，而無論是干式真空泵還是油封機(jī)械泵，泵腔內(nèi)溫度過高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會(huì)容易發(fā)生危險(xiǎn)?！ ?、半導(dǎo)體真空泵有效稀釋有害氣體的濃...
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螺桿真空泵是一種可抽真空的設(shè)備，是替代其他同類產(chǎn)品的工業(yè)生產(chǎn)常用設(shè)備，由于其優(yōu)異的產(chǎn)品性能和優(yōu)越性，在各種環(huán)境技術(shù)中都顯示出極高的穩(wěn)定性。 螺桿真空泵在結(jié)構(gòu)上有什么特點(diǎn)? 讓我們一起調(diào)查一下?！ ÷輻U真空泵在泵室內(nèi)的一對等速逆轉(zhuǎn)螺桿的作用下，吸引并排出被吸引的氣體，使其成為高真空。 如泵的結(jié)構(gòu)如圖所示，螺桿曲線由阿基米德的螺旋曲線、擺線和圓弧等構(gòu)成。 螺桿旋轉(zhuǎn)時(shí)，兩螺桿之間，螺桿與泵體之間保持一定的間隙，不相互接觸，因此運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)泵的摩擦損失小，摩擦消耗電力極小，可進(jìn)行高旋轉(zhuǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)，順暢地壓送到排氣口，排列在泵外。 泵兩側(cè)的密封機(jī)構(gòu)防止齒輪箱內(nèi)的潤滑油進(jìn)入泵的進(jìn)氣室內(nèi)進(jìn)入。 泵和馬達(dá)都是橫型結(jié)構(gòu)，泵的聯(lián)軸器和馬達(dá)直接連接，單元整體安裝在同一框架上。 為了降低泵的排氣聲，泵的排氣口裝有消音器?！ ?gòu)成螺桿真空泵的關(guān)鍵部件如下： 1 .螺桿轉(zhuǎn)子：泵螺桿轉(zhuǎn)子采用高性能球墨鑄鐵，經(jīng)過嚴(yán)格的熱處理后，由高精度數(shù)控機(jī)床加工，確保螺桿型線的高精度要求，螺桿加工精度是保證整個(gè)機(jī)械性能的關(guān)鍵。 2 .同步齒輪：同步齒輪是螺桿真空泵的重要部件，同步齒輪不僅對從動(dòng)螺桿施加足夠的扭矩，還保證反轉(zhuǎn)的兩個(gè)螺桿的嚙合面始終保持一定的間隙，不會(huì)摩擦。 齒輪表面經(jīng)高頻淬火，采用高精度砂輪磨削研磨，泵運(yùn)行噪音小，溫度上升低，保證運(yùn)行順暢?！ ? .軸承：泵的固定端采用雙列角接觸球軸承，可動(dòng)端采用高負(fù)荷能力的滾柱軸承。 ...
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