真空泵于半導體設備意義重大:
若半導體器件不同材料層之間混入氣體分子,會破壞器件的電學或光學性能,而真空系統(tǒng)可對芯片的性能和良率起決定性作用。
(半導體真空系統(tǒng)改造前現(xiàn)場1)
半導體真空泵應用:
晶圓制造過程中的單晶拉晶、LoadLock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。
(半導體真空系統(tǒng)改造前現(xiàn)場2)
Atlas螺桿真空機組應用領域:
分析儀器、化工、食品加工、發(fā)電解決方案、半導體、平板顯示、可再生能源(太陽能、LED照明、儲能等)、石材、印刷包裝、家具木材等行業(yè)。
(半導體真空系統(tǒng)改造后,螺桿真空機組應用現(xiàn)場1)
經(jīng)過深圳恒才機電的真空方案改造后,半導體真空泵應用方案節(jié)能可達50%:
1、一臺Atlas螺桿真空機組可替換多臺泵組,為可客戶減少能耗、集中抽真空方便管理;
2、Atlas螺桿真空泵擁有VSD和設定點控制功能,而常規(guī)的真空泵是不具備這樣的功能的,可根據(jù)實際所需真空水平或速度,提供需求的真空氣量,避免造成浪費;
3、Atlas螺桿真空泵是真空領域的節(jié)能減排真空系統(tǒng),節(jié)能可達50%,深受用戶好評。
(半導體真空系統(tǒng)改造后,螺桿真空機組應用現(xiàn)場2)
深圳恒才機電設備有限公司的真空泵、真空系統(tǒng)在電子、半導體工業(yè)、制藥工業(yè)、印刷行業(yè)、鍍膜、橡塑成型、PET片材擠出、顆粒擠出、醫(yī)療器械等工業(yè)領域應用,恒才真空泵廠家始終以穩(wěn)定的真空系統(tǒng)為客戶提供安全可靠的真空解決方案、定制化中央集成真空系統(tǒng)。