螺桿真空泵是容積式真空泵的新成員，出現(xiàn)于20世紀90年代前后，發(fā)展緩慢。

　　但是，作為理想的干式泵，出現(xiàn)了螺桿真空泵，并得到了迅速的發(fā)展。現(xiàn)在就理解小編和基本知識吧.

　　一、螺桿真空泵的特點

　　螺桿真空泵起源于螺桿壓縮機和螺桿式液體輸送泵，是容積式真空泵中理想的干式真空泵。由于能夠清潔無油真空環(huán)境，對含有腐蝕性氣體、凝結性蒸汽、粉塵粒子的氣體有較強的適應性，清潔電子半導體、制藥、石油化學等真空環(huán)境的要求嚴格，在氣體成分復雜行業(yè)中，螺桿真空泵很受歡迎

　　螺桿真空泵通過一對非對稱螺桿轉子的相對運動，使齒間容積周期性變化來輸送氣體，實現(xiàn)抽出。這些特征包括：

　　1.清潔無油，多相混輸，適應性廣。螺桿真空泵轉子之間有嚴格的間隙，泵室內無油，可吸入腐蝕性氣體、有毒及粉塵、凝結性蒸汽等復雜氣體。

　　2、結構簡單，動平衡好，可靠性高。螺桿真空泵零件少，芯零件無易損件，無不平衡慣性力，運行可靠，壽命長。

　　3、結構簡單，零件少，操作、維護簡單。

　　4.通過強制輸送空氣，可以在寬的壓力范圍內確保大的吸引速度，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響。

　　二、螺桿真空泵的結構

　　螺桿真空泵一般為雙軸結構。螺桿真空泵是經由一對非對稱螺桿轉子在泵室同步高速反轉，使齒間容積周期性變化而產生進氣和排氣作用的排氣設備。

　　其主要結構為螺桿轉子、軸承、泵體、密封件等。螺桿轉子經過精密的動平衡補償由軸承支承，安裝在泵室，螺桿與螺桿之間保持嚴格的一定間隙。泵工作時，相互沒有摩擦，工作順利，噪音低，室內不需要潤滑油。因此，螺桿真空泵在能夠吸引含有大量水蒸氣和粉塵的氣體時，具有極限真空高、低耗電、節(jié)能、免維護等優(yōu)點。

　　螺桿真空泵的主要結構

　　由上圖可知，螺桿真空泵結構簡單。形式上，根據(jù)螺桿真空泵分為臥式和立式的螺桿轉子型生產線，分為單頭螺桿真空泵和多頭螺桿真空泵。單頭螺桿真空泵通過轉子的螺距、等螺距螺桿。

　　多頭型金屬絲可在一個金屬絲內完成進氣、壓縮、排氣過程，金屬絲較少，能有效地減少泵的體積和重量，適用于大抽吸速度區(qū)域，但其金屬絲復雜，需要特殊工具和專用機床，加工費用高，且由于三角泄漏的原因，真空度高

　　單頭型生產線適用于小型螺桿真空泵，市場上也多為單頭式真空泵。其中等間距螺桿真空泵室內不壓縮，固體粒子和凝結性氣體能夠簡單排出，但排氣溫度和能量消耗率高的可變間距螺桿真空泵室內有壓縮，排氣溫度低，能量消耗低，但粉塵粒子和凝結性氣體的耐性存在等間距差。

　　三、螺桿真空泵的工作原理

　　由于是由螺旋壓縮機產生的，所以螺旋真空泵的工作原理也與螺旋壓縮機相似。用近似的多線進行說明。

　　1.進氣過程

　　a.進氣進程開始

　　b.進氣中

　　c.進氣過程結束

　　2.壓縮過程

　　a.啟動壓縮進程

　　b.正在壓縮

　　c.壓縮過程結束排氣開始

　　3.排氣過程

　　a、排氣中b、排氣中結束

　　螺桿真空泵的排氣過程。齒間容積與排氣口連通后，排氣過程開始。隨著齒間容積的縮小，有排氣壓力的氣體從排氣口排出。

　　四、螺桿真空泵的應用

　　螺桿泵不僅適應性寬，而且能夠在嚴格的條件下進行排氣，并且能夠實現(xiàn)高真空度(0.1~1Pa)。因此，隨著半導體、石油化學行業(yè)的迅速發(fā)展，螺桿真空泵作為理想的干泵開始廣泛應用于電子半導體、醫(yī)藥化學工業(yè)領域如半導體行業(yè)的蒸鍍、蝕刻、醫(yī)藥化學工業(yè)行業(yè)的蒸餾干燥、中間

　　由于型線技術和加工成本，螺桿真空泵的購買費用比較高，但從長遠來看，其寬度適應、高效節(jié)能環(huán)保特性和低故障修理率，在運行周期內給企業(yè)帶來了較高的綜合利益和社會環(huán)境利益，使用更多的通用性是未來的趨勢。