發(fā)布時間:
2020
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03
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11
來源:
67
真空系統(tǒng)是指由真空泵、真空計及各種零件通過管道以適當?shù)姆绞铰?lián)接，組合成能達到一定真空度要求的裝置。真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些? 1.在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。 極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體，這時的工作真空度將顯著地低于極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性，它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中，電10-2極除氣和陰極分解會大量出氣，如果工作真空度差，則可能出現(xiàn)電極被氧化及陰極激活欠佳的結(jié)果。但器件最后封離時已基本上無漏放氣，器件內(nèi)的真空度就取決于排氣真空系統(tǒng)的極限真空度?！ ?.為獲得某一工作真空度所需的時間 這時間決定于真空系統(tǒng)抽速的大小。提高抽速可縮短這一時間。大的工作室顯然需要大的抽速。有時工作室雖然不大，但由于漏放氣嚴重，則真空系統(tǒng)也需要大的抽速，否則大量的漏放氣將大大降低真空度，使系統(tǒng)無法工作。 3.在被抽器件或工作室內(nèi)有合適的殘氣成分 實踐證明，單純提高和保證極限真空度及工作真空度是不夠的，還應(yīng)對殘余氣體成分有一定的要求。例如真空攝像器件，為了保持在一年壽命期內(nèi)靈敏度的降低不大于巧，要求器件內(nèi)的殘余氣體的含氧量應(yīng)不高于10-2Pa 耐高壓的真空開關(guān)管內(nèi)，應(yīng)不含有碳氫化合物分子等等。真空系統(tǒng)的殘氣成分，如系統(tǒng)中無其它氣源，則主要取決于泵的特性?！ ?.真空系統(tǒng)還必須結(jié)構(gòu)簡單、性能可靠、操作維護方便、價格便宜等 要滿足這些要求，必須從泵的選擇、管道尺寸的確定及布置、裝配工藝等多方面綜合考慮。上述這些基本要求經(jīng)常是相互聯(lián)系的。例如，由于真空系統(tǒng)總不免存在有微漏現(xiàn)象，故采用抽速大的泵比抽速小的泵能獲得較好的工作真空度，但大的泵價格貴，耗水、耗電多，故有合理選擇的問題。儀器和小型的真空系統(tǒng)宜選...