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干式螺桿真空泵制造商介紹了水環(huán)真空泵的一些基本原理以及與干式螺桿真空泵的一些基本比較。在引言中，我們都提到水環(huán)真空泵的極限壓力約為2千帕。什么導(dǎo)致水環(huán)真空泵的極限壓力? 在原文章中，干式螺桿真空泵制造商還提到水環(huán)真空泵的極限壓力受其工作流體的限制，最常見(jiàn)的是——水。它受工作流體限制的原因是它們的飽和蒸汽壓?！ ∥覀冎酪后w會(huì)蒸發(fā)，也就是說(shuō)，液體表面的分子會(huì)不斷地從液體中逸出，進(jìn)入液體的外層空間。溫度越高，壓力越低，蒸發(fā)越強(qiáng)烈。液體的蒸汽壓是液體表面蒸發(fā)氣體產(chǎn)生的壓力。在封閉條件和特定溫度下，當(dāng)液體的蒸發(fā)和冷凝處于動(dòng)態(tài)平衡時(shí)，液體所處的蒸汽壓是其飽和蒸汽壓。同時(shí)，液體蒸發(fā)的逆過(guò)程是冷凝?！ ‘?dāng)液體的表面壓力小于飽和蒸汽壓時(shí)，液體處于不飽和狀態(tài)，蒸發(fā)量大于冷凝量，液體不斷蒸發(fā);當(dāng)液體的表面壓力大于飽和蒸汽壓時(shí)，液體蒸汽處于過(guò)飽和狀態(tài)并被壓縮，此時(shí)發(fā)生大量冷凝，這比蒸發(fā)量大得多?！ ⊥ㄟ^(guò)水的三相圖，我們可以看到它在不同壓力和溫度下的狀態(tài)變化。 在這種物理特性下，由于低壓低于液體的飽和蒸汽壓，真空中的液體壓力將產(chǎn)生大量蒸發(fā)，從而成為真空中的氣體源。然而，水環(huán)真空泵在工作過(guò)程中需要水作為工作介質(zhì)。水的飽和蒸汽壓在20℃時(shí)約為2338帕，在30℃時(shí)約為4245帕。也就是說(shuō)，當(dāng)水環(huán)真空泵處于20℃時(shí)，一旦其工作壓力被泵送到接近2338帕，工作液體將開(kāi)始大量蒸發(fā)，形成氣源。然而，水環(huán)真空泵沒(méi)有...
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半導(dǎo)體工藝真空主要用于蒸發(fā)、濺射、PECVD、真空干法刻蝕、真空吸附、測(cè)試設(shè)備、真空清洗等鍵合工藝。半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過(guò)程中容易產(chǎn)生易燃、易爆、有毒物質(zhì)和氣體，對(duì)生產(chǎn)和人員安全構(gòu)成威脅。因此，半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中的幾個(gè)安全注意事項(xiàng)如下: 1.定期清潔真空泵及其他附件、過(guò)濾器和管道，以避免過(guò)壓 在半導(dǎo)體真空泵的應(yīng)用中，當(dāng)介質(zhì)在介質(zhì)提取過(guò)程中通過(guò)反應(yīng)室和真空泵時(shí)，介質(zhì)的組成可能極其復(fù)雜。例如，SiH4和O2在泵口形成二氧化硅，而四氯化鈦水解形成氯化氫。假設(shè)使用油封機(jī)械泵，這些氣態(tài)物質(zhì)也可能與泵油發(fā)生反應(yīng)。這些變化假設(shè)顆粒、可冷凝物或腐蝕性介質(zhì)的形成，可能會(huì)堵塞真空泵或管道系統(tǒng)，影響真空泵的性能，導(dǎo)致壓力升高或過(guò)壓，并帶來(lái)更大的風(fēng)險(xiǎn)。因此，有必要及時(shí)清理，必要時(shí)設(shè)置過(guò)濾設(shè)備?！ ?.有效稀釋有害氣體的濃度 半導(dǎo)體容易產(chǎn)生上述易燃、易爆和有毒有害氣體。因此，在半導(dǎo)體真空泵的應(yīng)用中，當(dāng)抽取這些介質(zhì)時(shí)，有必要防止真空泵或排氣過(guò)程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。例如，當(dāng)與空氣或氧氣接觸時(shí)，SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物質(zhì)會(huì)引起燃燒甚至爆炸。當(dāng)空氣中氫氣的混合比例達(dá)到一定程度和溫度時(shí)，也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于物質(zhì)的數(shù)量及其與環(huán)境壓力和溫度的關(guān)系。因此，當(dāng)半導(dǎo)體真空泵提取這些介質(zhì)時(shí)，在壓縮前的當(dāng)前條件下，需要惰性氣體如氮?dú)鈱⑦@些氣體稀釋到安全范圍?！ ?.注意氧氣的濃度 如果空氣中的氧氣濃...
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如果您從事木工行業(yè)，那么您可能已經(jīng)熟悉工業(yè)真空泵。從固定和提升到層壓和木材干燥，這些機(jī)器對(duì)于推動(dòng)木工過(guò)程中涉及的各種應(yīng)用至關(guān)重要。但是您是否知道最適合該行業(yè)的真空泵技術(shù)類(lèi)型? 木料用什么真空泵更好? 一般而言，旋轉(zhuǎn)螺桿真空泵和干爪真空泵是木工應(yīng)用的理想選擇，因?yàn)樗鼈兪欠墙佑|式真空技術(shù)，不會(huì)遭受性能元件的磨損?！ ∨c葉片泵相比，GHS VSD +等旋轉(zhuǎn)螺桿泵具有較高的性能水平，并減少了維護(hù)，噪音和熱量散發(fā)-所有這些都?xì)w功于螺桿技術(shù)。它們通常配備VSD技術(shù)(使其非常經(jīng)濟(jì))，并且還具有壓力設(shè)定點(diǎn)控制功能，可確保泵提供盡可能低的真空流量，從而可以維持所需的真空度。結(jié)果?降低了生命周期的運(yùn)營(yíng)成本，并且沒(méi)有浪費(fèi)過(guò)多的能源?！ 「墒阶Ρ靡彩悄竟さ睦硐爰夹g(shù)。由于主泵腔中沒(méi)有潤(rùn)滑，因此沒(méi)有污染的威脅。其次，沒(méi)有任何磨損-兩個(gè)爪形轉(zhuǎn)子彼此相反的方向運(yùn)行;它們不會(huì)彼此接觸，也不會(huì)與泵室接觸!這意味著沒(méi)有磨損，非常耐用，并且可以維修和清潔。干式爪泵也可以組合成多系統(tǒng)單元?！ 『悴艡C(jī)電廠(chǎng)家主要真空泵產(chǎn)品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水環(huán)真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列羅茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺桿真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系統(tǒng)等產(chǎn)品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas)，司倍克speck產(chǎn)品.真空泵廠(chǎng)家恒才機(jī)電憑借多年的生產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn)，一流的技術(shù)人...
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旋片真空泵主要用于獲得低、中真空度，它可分為油封泵和干式泵，根據(jù)所要求的真空度，還可以分為單級(jí)泵和雙級(jí)泵(使用更普遍)。旋片真空泵主要是由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋和彈簧等部件構(gòu)成。在旋片真空泵的腔內(nèi)，有偏心地安裝了一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外邊與腔內(nèi)表面相切，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的兩個(gè)旋片。當(dāng)轉(zhuǎn)子在運(yùn)轉(zhuǎn)的過(guò)程中，旋片能沿其徑向槽成往復(fù)式地滑動(dòng)，并且與泵殼內(nèi)表面始終相接觸，此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而把真空泵腔體分為多個(gè)可變?nèi)莘e空間?！ ≡谑褂眯婵毡脮r(shí)，需要注意以下事項(xiàng) 1.在使用旋片式真空泵前，需要保持泵的清潔，以免雜物進(jìn)入泵體里面。檢查油量，加油至油標(biāo)中心處，如果太低就會(huì)對(duì)排氣閥起不到油封的作用，對(duì)真空泵的真空度產(chǎn)生影響;如果過(guò)高，會(huì)產(chǎn)生噴油反應(yīng)。在真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)候會(huì)有正常的油量上升反應(yīng)。在加油時(shí)，要使用符合規(guī)定的真空泵品牌的清潔真空泵油，從注油孔加入完畢之后，為防止其他雜物進(jìn)入真空泵油倉(cāng)內(nèi)，要進(jìn)行過(guò)濾且堵塞油孔?！ ?.在旋片真空泵工作環(huán)境溫度過(guò)高時(shí)，旋片真空泵的油溫度也會(huì)升高，這是熱分子運(yùn)動(dòng)加快，油的粘度降低，導(dǎo)致飽和蒸氣壓變大，最終引起極限真空度變低，德耐爾真空泵廠(chǎng)家技術(shù)人員指出，想要使得真空泵真空度得到改善，可以加大風(fēng)力，改善真空泵油的質(zhì)量，從而降低溫度加快散熱?！ ?.在使用旋片真空泵的作業(yè)過(guò)程中，抽取的物質(zhì)不應(yīng)該是含氧量過(guò)高、含水蒸氣量過(guò)高、易燃易爆以及對(duì)金屬有腐蝕性的氣體物質(zhì)，...
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液環(huán)真空泵(簡(jiǎn)稱(chēng)水環(huán)泵)是一種粗真空泵，可獲得2000-4000帕的極限真空，液環(huán)真空泵與真空泵組成的機(jī)組真空度可達(dá)1-600帕。水環(huán)泵適用于輸送氣液混合物。這種泵也可以用作空氣泵和空氣壓縮機(jī)。它產(chǎn)生高絕對(duì)真空。壓縮比取決于旋轉(zhuǎn)水環(huán)的壓力以及側(cè)壁上排放口的大小和形狀。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī)，稱(chēng)為水環(huán)壓縮機(jī)，屬于低壓壓縮機(jī)，其壓力范圍為1 ~ 2× 10 5pa表壓?！ ∷h(huán)泵最初用作自吸泵，然后逐漸用于許多工業(yè)部門(mén)，如石油、化學(xué)工業(yè)、機(jī)械、采礦、輕工業(yè)、醫(yī)藥和食品。在許多工業(yè)過(guò)程中，如真空過(guò)濾、真空引水、真空進(jìn)料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣，水環(huán)泵被廣泛使用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的迅速發(fā)展，水環(huán)泵在獲得原油真空方面受到了重視。由于水環(huán)泵中的氣體壓縮是等溫的，易燃易爆氣體以及含塵和含水氣體都可以去除。因此，水環(huán)泵的應(yīng)用日益增多。其他合適的液體也可以用作水環(huán)真空泵的工作流體。無(wú)論使用哪種工作流體，都統(tǒng)稱(chēng)為液環(huán)真空泵。水環(huán)真空泵是最常見(jiàn)的液環(huán)真空泵?！ ∽顝V泛使用的泵。泵體充滿(mǎn)適量的水作為工作流體。當(dāng)葉輪在圖中順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪甩來(lái)甩去。由于離心力的作用，根據(jù)泵室的形狀，水形成厚度大致相等的閉合環(huán)。水環(huán)下部的內(nèi)表面正好與葉輪輪轂相切，水環(huán)上部的內(nèi)表面正好與葉片的尖端接觸(事實(shí)上，葉片在水環(huán)中具有一定的插入深度)。此時(shí)，在葉輪輪轂和水環(huán)的內(nèi)界面之間形成新月形空間，并且該...
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真空泵的功能是從真空室中去除氣體分子，并降低真空室中的氣壓以達(dá)到所需的真空度。一般來(lái)說(shuō)，從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，到目前為止沒(méi)有一個(gè)真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。因此，為了達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備使用壽命要求，需要為不同的真空段選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為了獲得最佳配置，在選擇真空機(jī)組系統(tǒng)時(shí)應(yīng)考慮以下幾點(diǎn): 1.真空泵的極限壓力應(yīng)滿(mǎn)足工藝的工作壓力。通常，所選泵的極限壓力比工藝要求低一個(gè)數(shù)量級(jí)。 2.每個(gè)泵都有一定的工作壓力范圍。因此，泵的工作點(diǎn)應(yīng)選擇在此范圍內(nèi)，不允許在超過(guò)允許工作壓力的情況下長(zhǎng)時(shí)間工作?！ ?.在其工作壓力下，真空泵應(yīng)該能夠排出真空設(shè)備過(guò)程中產(chǎn)生的所有氣體。 4.選擇真空機(jī)組裝置: (1)當(dāng)一臺(tái)泵不能滿(mǎn)足抽氣和真空的要求時(shí)，需要將幾臺(tái)泵組合起來(lái)，相互補(bǔ)充，以滿(mǎn)足工藝要求?！ ?2)有些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)抽真空;一些真空泵的出口壓力低于大氣壓，需要一個(gè)前置泵，所以所有的泵都需要組合使用。通過(guò)真空泵的組合，我們稱(chēng)之為真空泵機(jī)組，它能使真空系統(tǒng)獲得更好的真空度和排量。我們應(yīng)該正確選擇組合式真空泵，因?yàn)椴煌恼婵毡脤?duì)被抽出的氣體有不同的要求，例如:羅茨-轉(zhuǎn)子機(jī)組不適合在正常情況下含有較多可冷凝氣體的系統(tǒng)?！ ?.當(dāng)你選擇一個(gè)油封泵時(shí)，你應(yīng)該首先知道你的真空系統(tǒng)是否對(duì)油污染有要求。如果設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油，應(yīng)選用各種非油泵，如:水環(huán)泵、低溫...
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根據(jù)水環(huán)真空泵的說(shuō)法，它是一種利用機(jī)械能實(shí)現(xiàn)無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵。因此，對(duì)真空度的要求相對(duì)較高。如果真空度不夠高，真空泵的使用會(huì)受到影響。因此，應(yīng)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行檢查，找出故障原因并予以糾正。 1.水環(huán)真空泵冷卻水流量不足:應(yīng)增加冷卻水流量。 2.裝配不當(dāng)會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)子軸向位移，導(dǎo)致單側(cè)磨損:應(yīng)將其拆卸下來(lái)進(jìn)行檢查并重新裝配?！ ?.吸入硬物磨損真空泵本體:拆卸水環(huán)真空泵，去除硬物，修理或更換劃傷的零件。 4.真空泵的溫度太高:泵送氣體的溫度太高。讓氣體在進(jìn)入真空泵之前冷卻進(jìn)入;應(yīng)使用冷卻水或電風(fēng)扇來(lái)冷卻溫度。同時(shí)，檢查相關(guān)零件的配合間隙，并根據(jù)規(guī)定的精度要求進(jìn)行修理或更換?！ ?.水環(huán)真空泵本身會(huì)泄漏空氣:泵本身密封不嚴(yán)，會(huì)在軸封處泄漏空氣。應(yīng)該更換空氣閥件。如果密封圈泄漏，檢查所有密封件的密封情況，并更換損壞的密封圈。如果氣動(dòng)閥墊圈損壞或未擰緊，更換墊圈并擰緊氣動(dòng)閥。當(dāng)真空泵中的隔膜被壓入時(shí)，干涉太大，導(dǎo)致真空泵腔變形并泄漏氣體。應(yīng)該修理或更換真空泵腔。漏氣是由于真空泵端面油密封不良造成的。應(yīng)拆卸端蓋，檢查是否有雜物或不平，然后清洗或修理?！ ?.真空泵油有一個(gè)問(wèn)題:如果油位太低，在油痕中間的管路中加入足夠的油;如果機(jī)油被污染和變質(zhì)，請(qǐng)更換新的機(jī)油。如果油的品牌不匹配，應(yīng)更換指定品牌的真空泵油。油道堵塞，水環(huán)真空泵室不能保持適當(dāng)?shù)挠土?。檢查油路和油閥的進(jìn)油量，保持油路暢通?！ ?.水環(huán)...
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