螺桿真空泵于半導體設備意義重大:
若半導體器件不同材料層之間混入氣體分子,會破壞器件的電學或光學性能,而真空系統(tǒng)可對芯片的性能和良率起決定性作用。
半導體真空泵應用:
晶圓制造過程中的單晶拉晶、LoadLock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。
Atlas螺桿真空機擁有VSD和設定點控制功能,而常規(guī)的真空泵是不具備這樣的功能的,可根據(jù)實際所需真空水平或速度,提供需求的真空氣量,避免造成浪費,Atlas螺桿真空泵是真空領域的節(jié)能減排真空系統(tǒng),節(jié)能可達50%,深受用戶好評。
深圳恒才機電設備有限公司,專注于真空泵領域,為客戶提供專業(yè)真空設備及真空解決方案,康斯頓國產真空泵、阿特拉斯進口真空泵、司倍克水環(huán)真空泵、進口離心泵、真空泵售后維保等一系列真空服務。
深圳恒才機電設備有限公司的真空泵、真空系統(tǒng)在電子、水處理、引水、半導體工業(yè)、光電、制藥工業(yè)、印刷行業(yè)、鍍膜、橡塑成型、PET片材擠出、顆粒擠出、醫(yī)療器械、石材等工業(yè)領域應用,恒才真空泵廠家始終以穩(wěn)定的真空系統(tǒng)為客戶提供安全可靠的真空解決方案、定制化中央集成真空系統(tǒng)。